스퍼터링

sputtering : 스퍼터링

AC-PDP에서 산소 분압에 따른 MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정
Sputtering yield MgO protective layer according to O2 partial pressure in AC-PDP

RuO2 박막의 전기적 특성에 미치는 스퍼터링 증착 조건의 영향
Effect of deposition conditions on the electrical properties of sputtered RuO2 thin film

플렉서블 전자소자 응용을 위한 스퍼터링법으로 증착된 나노결정 탄소박막의 특성에 관한 연구
(A) study on the characteristics of nanocrystalline carbon films deposited by sputtering method for the application to flexible electronic devices

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 사파이어 기판에 n-ZnO/p-GaN 이종접합구조 LED 소자제작과 특성분석
Fabrication and characterization of RF magnetron sputtered ZnO / GaN heterostructure light-emitting diodes and study of interlayer

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